发明名称 DRIVING METHOD POSITIONING OF TRAVELING OBJECT
摘要
申请公布号 JPS6355610(A) 申请公布日期 1988.03.10
申请号 JP19860200349 申请日期 1986.08.26
申请人 OMRON TATEISI ELECTRONICS CO 发明人 HINOTO OKIFUMI;KOSHIBA YOSHIHITO;MURAO HIROSHI
分类号 G05D3/00;G05D3/12;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 G05D3/00
代理机构 代理人
主权项
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