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发明名称
MESSAPARATUR
摘要
申请公布号
DD254771(A5)
申请公布日期
1988.03.09
申请号
DD19870300440
申请日期
1987.03.04
申请人
RANK TAYLOR HOBSON LIMITED,GB
发明人
LANE,HUGH R.,GB;ONYON,PETER D.,GB
分类号
G01B21/00;B23Q1/54;G01B5/00;G01B5/255;G01B7/28;G12B5/00;H01L21/68;(IPC1-7):G01B7/12
主分类号
G01B21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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