| 发明名称 |
PROCESS FOR THE PREPARATION OF POLYIMIDAZOLE AND POLYIMIDAZOPYRROLONE RELIEF STRUCTURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0157932(B1) |
申请公布日期 |
1988.03.09 |
| 申请号 |
EP19840115195 |
申请日期 |
1984.12.12 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN |
发明人 |
AHNE, HELLMUT, DR. |
| 分类号 |
C08G73/00;C08G73/06;C08G73/18;C08G73/20;G03C5/08;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/26;H01L21/47;G03F7/10;G03C1/70;H01L21/312 |
主分类号 |
C08G73/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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