发明名称 NORMAL-PRESSURE VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6355192(A) 申请公布日期 1988.03.09
申请号 JP19860199427 申请日期 1986.08.26
申请人 NEC CORP 发明人 NEGISHI KUNIAKI
分类号 C30B25/12;H01L21/205 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
主权项
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