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经营范围
发明名称
NORMAL-PRESSURE VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS6355192(A)
申请公布日期
1988.03.09
申请号
JP19860199427
申请日期
1986.08.26
申请人
NEC CORP
发明人
NEGISHI KUNIAKI
分类号
C30B25/12;H01L21/205
主分类号
C30B25/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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