发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6354772(A) 申请公布日期 1988.03.09
申请号 JP19860197181 申请日期 1986.08.25
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 SUZUKI CHIKASHI;OKUYAMA KOSUKE;YOSHIDA SEIJI
分类号 H01L29/78;H01L29/08;H01L29/10 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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