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发明名称
RESIST MASK COATING
摘要
申请公布号
JPS6353925(A)
申请公布日期
1988.03.08
申请号
JP19860197902
申请日期
1986.08.23
申请人
SHINETSU SEKIEI KK
发明人
NAKAMURA TATSUMASA
分类号
B05D1/40;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
B05D1/40
代理机构
代理人
主权项
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