发明名称 RESIST MASK COATING
摘要
申请公布号 JPS6353925(A) 申请公布日期 1988.03.08
申请号 JP19860197902 申请日期 1986.08.23
申请人 SHINETSU SEKIEI KK 发明人 NAKAMURA TATSUMASA
分类号 B05D1/40;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
主权项
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