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发明名称 CRYSTAL GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6353917(A) 申请公布日期 1988.03.08
申请号 JP19860197126 申请日期 1986.08.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 MINAGAWA SHIGEKAZU;NAKATSUKA SHINICHI;SATO MAKOTO
分类号 H01L21/205;H01S5/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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