发明名称 Method for removing the ONO residue in flash device
摘要
申请公布号 KR100661232(B1) 申请公布日期 2006.12.22
申请号 KR20040118270 申请日期 2004.12.31
申请人 发明人
分类号 H01L27/115 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
地址