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发明名称 REACTIVE SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6353260(A) 申请公布日期 1988.03.07
申请号 JP19860197041 申请日期 1986.08.25
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 ASAI KAZUYOSHI
分类号 H01L21/285;C23C14/34;H01L21/203 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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