发明名称 FILM THICKNESS MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6353406(A) 申请公布日期 1988.03.07
申请号 JP19860197045 申请日期 1986.08.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ARIKI MASAYUKI;NAGAO TOSHISHIGE
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
地址