| 发明名称 |
PROCEDE DE MESURE DU FLUAGE D'UN MATERIAU ET APPAREIL DE MISE EN OEUVRE |
| 摘要 |
<P>LA PRESENTE INVENTION CONCERNE UN PROCEDE DE MESURE DU FLUAGE D'UN MATERIAU COMPRENANT LES ETAPES SUIVANTES : FORMER UN RESEAU 12 DE BANDES PARALLELES DUDIT MATERIAU FORMANT UN RESEAU DE DIFFRACTION; SOUMETTRE LEDIT RESEAU AUX MEMES CONDITIONS QUE LE MATERIAU DONT ON SOUHAITE CONTROLER LE FLUAGE; ECLAIRER LE RESEAU PAR UN FAISCEAU LUMINEUX MONOCHROMATIQUE ET OBSERVER LA LUMIERE DIFFRACTEE.</P><P>APPLICATION AU CONTROLE DE FABRICATION DE CIRCUITS INTEGRES.</P>
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| 申请公布号 |
FR2603379(A1) |
申请公布日期 |
1988.03.04 |
| 申请号 |
FR19860012294 |
申请日期 |
1986.08.26 |
| 申请人 |
TISSIER ANNIE;DUTARTRE DIDIER |
发明人 |
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| 分类号 |
G01B11/16;G01N3/00;H01L21/3105;(IPC1-7):G01N21/17;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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