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发明名称 THIN FILM FORMATION
摘要
申请公布号 JPS6351645(A) 申请公布日期 1988.03.04
申请号 JP19860196103 申请日期 1986.08.20
申请人 NEC CORP;RES DEV CORP OF JAPAN;ARAN KENTO ENGERU 发明人 FUAURAA MAIKERU;ARAN KENTO ENGERU;SUZUKI SHIGEYOSHI
分类号 H01L21/312;H01L51/05 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
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