| 发明名称 |
ALUMINUM NITRIDE SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6351662(A) |
申请公布日期 |
1988.03.04 |
| 申请号 |
JP19860193988 |
申请日期 |
1986.08.21 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SATO HIDEKI;MIZUNOYA NOBUYUKI |
| 分类号 |
C04B41/90;B32B15/04;B32B18/00;H01L23/14;H01L23/15;H01L23/373;H05K1/03 |
主分类号 |
C04B41/90 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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