发明名称 FORMATION OF WSI2 FILM
摘要
申请公布号 JPS6350458(A) 申请公布日期 1988.03.03
申请号 JP19860196099 申请日期 1986.08.20
申请人 NEC CORP 发明人 TANIGAWA AKIO;OKABAYASHI HIDEKAZU
分类号 C23C14/06;C23C14/24 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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