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发明名称
FORMATION OF WSI2 FILM
摘要
申请公布号
JPS6350458(A)
申请公布日期
1988.03.03
申请号
JP19860196099
申请日期
1986.08.20
申请人
NEC CORP
发明人
TANIGAWA AKIO;OKABAYASHI HIDEKAZU
分类号
C23C14/06;C23C14/24
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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