| 发明名称 |
WASHING METHOD FOR SEMICONDUCTOR MATERIAL AND WASHING TANK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6350023(A) |
申请公布日期 |
1988.03.02 |
| 申请号 |
JP19860194262 |
申请日期 |
1986.08.19 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TAMURA KATSUHIKO;MUKOGAWA YASUKAZU;HORI KOICHIRO;IKEO HIROBUMI;NISHIMOTO AKIRA;FUNADA YUTAKA |
| 分类号 |
H01L21/304;B08B3/00;B08B3/04 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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