摘要 |
Le dispositif ci-décrit comporte un laser HeNe (1) qui émet sur une longueur d'onde de 633 nm, et un second laser (5) émettant dans la plage du proche infra-rouge. Ce second laser (5) fonctionne en régime continu et émet un rayonnement dans la plage de longueur d'onde 800-870 nm, de préférence sur une longueur d'onde de 840 nm. Un système optique (14, 15) sert à élargir les faisceaux des deux lasers (1, 5) qui partagent la même trajectoire. Ce système (14, 15) permet de régler en continu la grandeur du champ d'irradiation jusqu'à un diamètre maximal de l'ordre de 30 nm. Pour le coudage du faisceau entre les lasers (1, 5) et l'ouverture de sortie de faisceau du dispositif, est prévu un système de miroirs (11, 18) comportant un miroir de sortie rotatif autour de deux axes pour positionner le champ d'irridiation. |