| 发明名称 |
Method of treatment for electron resist |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2194242(A) |
申请公布日期 |
1988.03.02 |
| 申请号 |
GB19860020414 |
申请日期 |
1986.08.21 |
| 申请人 |
THE * PLESSEY COMPANY PLC |
发明人 |
DAVID ROBERT * BRAMBLEY |
| 分类号 |
C08J3/24;G03F7/16;H01L21/312;(IPC1-7):C08J3/24;C08L33/00;H05K1/00 |
主分类号 |
C08J3/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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