发明名称 HOLOGRAPHIC FIGURE SENSOR
摘要
申请公布号 EP0109502(B1) 申请公布日期 1988.03.02
申请号 EP19830109204 申请日期 1983.09.16
申请人 THE PERKIN-ELMER CORPORATION 发明人 SHEMWELL, DAVID M.
分类号 G01B9/021;G01M11/00;G02B5/32;(IPC1-7):G01B9/021;G01M11/02 主分类号 G01B9/021
代理机构 代理人
主权项
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