| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM AND DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6348831(A) |
申请公布日期 |
1988.03.01 |
| 申请号 |
JP19860193088 |
申请日期 |
1986.08.19 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
KURAKI OKU;URISU TSUNEO |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/205;H01L21/263 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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