真空高压脉冲放电催化化学热处理设备及方法

摘要

本发明涉及真空高压脉冲放电催化化学热处理设备及方法，设备由炉底座、炉催化放电电极、催化放电电极、脉冲电源、炉气均匀循环系统、隔热层结构和内置交流加热器等组成，其方法是：将工件置于炉内，内置交流加热器加热至渗氮温度，脉冲电源输出电压为0-8000伏，作用于炉内催化放电电极和催化放电电极之间，炉内压力为100-5×10⁴Pa，含氮气体剧烈电离放电，产生的活性氮渗入原子，高速度渗入工件，渗氮气体通过供气环管进入炉内，在炉体内均匀循环流动，通过排气环管排出设备外，渗氮气体均匀经过工件。具有渗速快、处理温度准确均匀、热效率高、防渗容易、在真空中处理的工件不氧化等优点。

主权项

1.真空高压脉冲放电催化化学热处理设备，由炉底座(11)、炉筒(17)、电控柜(7)、催化放电电极(6)、催化放电电极(15)和脉冲电源组成，其特征在于，该设备还包括炉气均匀循环系统、隔热层结构和内置交流加热器(14)，炉气均匀循环系统是由真空电机(1)、风扇(2)、隔热屏(5)和隔热屏(12)构成，真空电机(1)与风扇(2)相连接，隔热屏(5)和隔热屏(12)分别设在炉筒(17)和炉底座(11)的内壁，内置交流加热器(14)设置在炉筒(17)的隔热屏(5)的内侧，催化放电电极(6)和催化放电电极(15)置于内置交流加热器(14)内侧，即靠近炉膛一侧，炉筒(17)和炉底座(11)全部采用双层壁结构，在双层壁的夹层内分别注满新型隔热纤维材料(4)、隔热纤维材料(10)，炉内的下端设有排气环管(9)，与真空泵(8)相连接，供气系统(13)与供气环管(3)相连接。