| 摘要 |
Ein einfaches und kostengünstiges Verfahren zur Herstellung eines dünnen Substrats (101, A, B), wodurch Oberflächenwobbeln reduziert wird, indem zwei dünne Platten miteinander verklebt werden, wird angegeben. Ein Verfahrensschritt des Verklebens dünner Substratplatten (101, A, B) wird durchgeführt, indem eine Vorrichtung verwendet wird, bei der ein Abstandshalter (104) in einen Drehtisch eingebaut ist, der mit einem Durchgangsloch (105) versehen ist, um Luft einfließen zu lassen. Die dünnen Substratplatten (101, A, B) werden auf dem Drehtisch (102) gedreht, um einen Klebstoff zu schleudern und zu härten, um eine Klebeverbindung herzustellen. |
