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发明名称 CLEANING FOR CHAMBER
摘要
申请公布号 JPS6348832(A) 申请公布日期 1988.03.01
申请号 JP19860193393 申请日期 1986.08.19
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KAWAMURA SHIGERU;KOMIYA TARO;IBUKA NARUHITO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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