发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS6348731(A) 申请公布日期 1988.03.01
申请号 JP19860193363 申请日期 1986.08.18
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKANO SHINICHI;NOGAWA SHUICHI;YAMAHARA NOBORU;MATSUBARA KATSUO;INOUE YASUO
分类号 H01J27/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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