发明名称 TREATMENT FOR SEMICONDUCTOR SURFACE
摘要
申请公布号 JPS6348830(A) 申请公布日期 1988.03.01
申请号 JP19860193505 申请日期 1986.08.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KONISHI NORITOSHI
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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