发明名称 PATTERN SHAPE MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6348411(A) 申请公布日期 1988.03.01
申请号 JP19860194563 申请日期 1986.08.19
申请人 NEC CORP 发明人 HASEGAWA SHINYA
分类号 G01B15/00;H01L21/66 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
主权项
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