发明名称 CIRCUIT FOR MEASURING CHARACTERISTIC OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6347679(A) 申请公布日期 1988.02.29
申请号 JP19860191869 申请日期 1986.08.16
申请人 SONY CORP 发明人 MUKAI MIKIO;MORIUCHI SHIGERU
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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