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发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6347941(A)
申请公布日期
1988.02.29
申请号
JP19860193464
申请日期
1986.08.18
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
KAMATA YASUHIDE;SUGIYAMA KAORU
分类号
H01L21/60;H01L21/52
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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