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发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE WASHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6347936(A) 申请公布日期 1988.02.29
申请号 JP19860193570 申请日期 1986.08.18
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 NONAKA HIROSHI
分类号 H01L21/304;B08B3/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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