发明名称
摘要
申请公布号 JPS6329935(U) 申请公布日期 1988.02.27
申请号 JP19860123329U 申请日期 1986.08.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;B08B3/00;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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