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发明名称 CVD THIN-FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6346734(A) 申请公布日期 1988.02.27
申请号 JP19860191450 申请日期 1986.08.15
申请人 HITACHI ELECTRONICS ENG CO LTD 发明人 YOSHIDA AKIRA;TANIGUCHI KAZUO;MURAKAWA YUKIO
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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