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发明名称 ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6345740(A) 申请公布日期 1988.02.26
申请号 JP19860189178 申请日期 1986.08.12
申请人 SONY CORP 发明人 KONISHI MORIKAZU
分类号 H01J27/26;H01J37/08 主分类号 H01J27/26
代理机构 代理人
主权项
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