发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6345816(A) 申请公布日期 1988.02.26
申请号 JP19860190813 申请日期 1986.08.13
申请人 NEC CORP 发明人 TOMIYAMA TOMOHIKO
分类号 H01L21/265;H01L21/76;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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