发明名称 IC HANDLING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPS6345828(A) 申请公布日期 1988.02.26
申请号 JP19860190115 申请日期 1986.08.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 URASAKI NAOHIKO
分类号 H01L23/00;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 H01L23/00
代理机构 代理人
主权项
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