| 发明名称 |
FORMATION OF DEPOSITED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6345371(A) |
申请公布日期 |
1988.02.26 |
| 申请号 |
JP19870067334 |
申请日期 |
1987.03.20 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
MATSUYAMA FUKATERU;HIRAI YUTAKA;UEKI MASAO;SAKAI AKIRA |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/02;C23C16/04;C23C16/24;C23C16/30;C23C16/452;C30B25/00;C30B25/18;H01L21/20;H01L21/31;H01L21/84 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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