| 发明名称 |
MEASURING INSTRUMENT FOR CONTINUITY AND NONCONTINUITY BETWEEN ADJACENT PATTERNS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6345567(A) |
申请公布日期 |
1988.02.26 |
| 申请号 |
JP19860189914 |
申请日期 |
1986.08.13 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR & ELECTRONICS LTD |
发明人 |
TAKANO YUJI;TAKEUCHI KUNIHIKO |
| 分类号 |
G01R31/02;G01R31/28;H01L21/66;H05K3/00;H05K13/08 |
主分类号 |
G01R31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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