| 发明名称 |
ION BEAM SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6345370(A) |
申请公布日期 |
1988.02.26 |
| 申请号 |
JP19860188876 |
申请日期 |
1986.08.12 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TAKANO SHINICHI;NOGAWA SHUICHI;YAMAHARA NOBORU;MATSUBARA KATSUO;INOUE YASUO |
| 分类号 |
H01L21/285;C23C14/46;H01J37/317;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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