发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6344722(A) 申请公布日期 1988.02.25
申请号 JP19860189045 申请日期 1986.08.12
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 WATANABE MASAHIDE
分类号 H01L21/265;H01L21/322 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
地址