发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6344731(A) 申请公布日期 1988.02.25
申请号 JP19860189072 申请日期 1986.08.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 MATSUMOTO SHIGENORI;HIROSHIMA YOSHIMITSU
分类号 H01L21/316;H01L21/324 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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