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发明名称 MANUFACTURING EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6344716(A) 申请公布日期 1988.02.25
申请号 JP19860188925 申请日期 1986.08.12
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SHIMADA KATSUTO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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