发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6344771(A) 申请公布日期 1988.02.25
申请号 JP19860188813 申请日期 1986.08.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SATO SHINICHI
分类号 H01L29/417;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L29/417
代理机构 代理人
主权项
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