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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF CRYSTALLINE DEPOSITED FILM
摘要
申请公布号
JPS6344720(A)
申请公布日期
1988.02.25
申请号
JP19870085516
申请日期
1987.04.06
申请人
CANON INC
发明人
HIRAI YUTAKA
分类号
C30B25/00;C23C16/24;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/511;C30B25/18;C30B29/06;H01L21/205;H01L21/84
主分类号
C30B25/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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