发明名称 DEPOSITION FILM FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPS6344719(A) 申请公布日期 1988.02.25
申请号 JP19870085515 申请日期 1987.04.06
申请人 CANON INC 发明人 HIRAI YUTAKA
分类号 C30B25/00;C23C16/24;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/511;C30B25/18;C30B29/06;H01L21/205;H01L21/84 主分类号 C30B25/00
代理机构 代理人
主权项
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