Method and device for fine-positioning an object on a partial area of a plane.

摘要

Verfahren und Vorrichtung zur Feinjustierung eines Objektes mittels einer fernbedienbaren Haltevorrichtung (5) auf einer Teilfläche einer Ebene, nach dem Prinzip der Reflexionsabtastung. Hiermit wird ermöglicht, daß Objekte wie Werkzeuge oder Abtastspitzen (3) auf der Leiterplatte (4) im Rahmen der Genauigkeit der Ätzung und der Bohrung feinjustiert werden.