发明名称 ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6343249(A) 申请公布日期 1988.02.24
申请号 JP19860184868 申请日期 1986.08.06
申请人 SONY CORP 发明人 KONISHI MORIKAZU
分类号 H01J27/26;H01J37/08 主分类号 H01J27/26
代理机构 代理人
主权项
地址