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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6343253(A) 申请公布日期 1988.02.24
申请号 JP19860186733 申请日期 1986.08.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAJIMA EIJI
分类号 H01L21/265;H01J37/317 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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