发明名称 POSITIVE TYPE PHOTORESIST ELEMENT CONTAINING ANTIREFLECTIVE PIGMENT
摘要
申请公布号 JPS6341844(A) 申请公布日期 1988.02.23
申请号 JP19870185636 申请日期 1987.07.27
申请人 EASTMAN KODAK CO 发明人 RICHIYAADO UEEN BUREBINSU;ROBAATO KAATEISU DEERII
分类号 G03C1/00;G03F7/09;H01L21/027 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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