QUARTZ BOAT FOR DIFFUSING IMPURITY,申请号JP19860186408-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	QUARTZ BOAT FOR DIFFUSING IMPURITY
摘要
申请公布号	JPS6342119(A)	申请公布日期	1988.02.23
申请号	JP19860186408	申请日期	1986.08.07
申请人	NEC CORP	发明人	KAWASHIMA SADAMI
分类号	F27D3/12;H01L21/22	主分类号	F27D3/12
代理机构		代理人
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