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发明名称
PATTERN FORMATION.
摘要
申请公布号
EP0187870(A4)
申请公布日期
1988.02.23
申请号
EP19850903700
申请日期
1985.07.22
申请人
NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION
发明人
IWADATE, KAZUMI;HARADA, KATSUHIRO
分类号
G03F7/039;(IPC1-7):G03C1/72;G03C5/00;G03C5/24;G03F7/00;H01L21/30
主分类号
G03F7/039
代理机构
代理人
主权项
地址
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