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PURPOSE:To make possible throttling of beams finely in a state where beam intensity is high, with an ion source which separates and converges positive or negative ions only by using a quadruple pole lens group.
申请公布号
JPS5947423(B2)
申请公布日期
1984.11.19
申请号
JP19760016023
申请日期
1976.02.18
申请人
HITACHI LTD
发明人
DOI HIROSHI;SAKUMICHI KUNYUKI;SHIKAMATA ICHIRO
分类号
G01N23/225;G01N27/62;H01J27/02;H01J37/05;H01J37/08;H01J37/252
主分类号
G01N23/225
代理机构
代理人
主权项
地址
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