发明名称 |
VACUUM CONTROL DEVICE FOR VACUUM CONTAINER HOUSING ROTARY MACHINE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6341684(A) |
申请公布日期 |
1988.02.22 |
申请号 |
JP19860183471 |
申请日期 |
1986.08.06 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TEZUKA KAZUO;MIYAZAKI MASAYUKI |
分类号 |
F04B49/00;B01J3/00;F03G3/08 |
主分类号 |
F04B49/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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