发明名称 VACUUM CONTROL DEVICE FOR VACUUM CONTAINER HOUSING ROTARY MACHINE
摘要
申请公布号 JPS6341684(A) 申请公布日期 1988.02.22
申请号 JP19860183471 申请日期 1986.08.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TEZUKA KAZUO;MIYAZAKI MASAYUKI
分类号 F04B49/00;B01J3/00;F03G3/08 主分类号 F04B49/00
代理机构 代理人
主权项
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